一种提高XY运动平台系统精度的方法、装置及系统

摘要

一种提高XY运动平台系统精度的方法、装置及系统，所述方法包括：以预设的标定板为参照，所述XY运动平台上被控设备运动时同步拍摄所述标定板的图像，分析该图像得到标定点在图像中的像素坐标(S101)；读取所述标定点在所述标定板中的实际坐标，由所述实际坐标、所述像素坐标计算所述被控设备的实际位置坐标(S102)；根据所述实际位置坐标调节所述XY运动平台的运动控制系统，控制所述XY运动平台进行相应的运动以对所述被控设备进行运动补偿(S103)。该方法能够提高系统精度，降低对装配和器件选用的要求。