一种基于自会聚镜片的离轴积分腔吸收光谱气体探测装置

摘要

本发明公开了一种基于自会聚镜片的离轴积分腔吸收光谱气体探测装置，包括QCL激光器、激光控制器、信号发生器、锁相放大器、反射镜、积分腔、平凹髙反镜、凹凸髙反镜、光电探测器、采集卡、压力传感器、温度传感器、气泵、质量流量控制器、信号处理系统。本发明在积分腔的激光出射端采用两面曲率特殊设计的凹凸髙反镜片，使透射的激光被自动会聚到探测器上，而不必再使用离轴抛物镜或者透镜对出射光线进行会聚，减少了因透射光发散，导致透射光不能被很好的会聚，同时减少镜片的安装部件对透射光的遮挡，使透射光更好的会聚。本发明采用凹凸髙反镜片可以取得更好的会聚效果，减少器件的使用，使系统更紧凑并提高系统的稳定性。