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采用磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量方法

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采用磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量方法，涉及微纳米尺度下材料的表面形貌、力学特性的测量技术，是为了解决传统基于力位移曲线的方法中探针的驱动频率范围受限、以及在液体环境下整体驱动探针会干扰探针悬臂的运动，影响测量精度的问题。样品台内置有线圈，探针针尖上设置有沿探针长度方向磁化或有在该方向的磁化分量的磁性颗粒。首先获得探针自由状态振动的PSD电压曲线U

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公开/公告号CN107449939B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-24

原文格式PDF
申请/专利权人哈尔滨工业大学;
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申请/专利号CN201710657332.0
发明设计人谢晖;孙立宁;孟祥和;张号;宋健民;
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申请日2017-08-03
分类号
代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所;
代理人宋诗非
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
入库时间 2022-08-23 10:56:26

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-04-24

授权

授权
2018-01-05

实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q60/24 申请日:20170803

实质审查的生效
2018-01-05

实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q 60/24 申请日:20170803

实质审查的生效
2017-12-08

公开

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2017-12-08

公开

公开
2017-12-08

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