面向物联网的硅基具有热电转换功能的MOSFET器件

摘要

本发明提供的面向物联网的硅基具有热电转换功能的MOSFET器件，主要包括N型MOSFET和热电偶，MOSFET选择P型Si作为衬底，通过COMS工艺和MEMS表面微机械加工实现具有热电转换功能的N型MOSFET。在栅极多晶硅四周制作一层二氧化硅并化学机械抛光，其上制作若干个热电偶。热电偶包括金属Al型热电臂和多晶硅N型热电臂，蒸铝连接两种热电偶臂，串联栅源漏的热电偶电极，留下两个电极作为塞贝克压差的输出极，根据Seebeck效应实现热能到电能的转换。该硅基具有热电转换功能的MOS器件可以将器件工作产生的热能转换为电能，实现能量收集的同时降低了温度，有利于散热。通过检测输出塞贝克电压的大小来实现对热耗散功率大小的检测。