光敏性树脂组合物,光敏性元件,防蚀图形及其制法和叠层基板

摘要

本发明公开了一种光敏树脂组合物，该组合物包含(A)光敏性树脂、(B)光聚合引发剂和(C)阻燃剂，其中阻燃剂化合物中的卤原子或锑原子的含量为5重量%以下；以及，利用该光敏树脂组合物的光敏性元件、防蚀图案的制造方法、防蚀性图案、和、防蚀性图案的叠层基板。