法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-17
授权
授权
2019-05-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C5/00 申请日:20181220
实质审查的生效
2019-05-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 5/00 申请日:20181220
实质审查的生效
2019-04-16
公开
公开
2019-04-16
公开
公开
2019-04-16
公开
公开
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机译: 真空顶铸件的监测方法和真空顶铸件的终止方法
机译: 一种用于监测在膜装置中消耗的氧化剂的量的监测装置,其监测方法,纯水生产装置以及用于控制膜装置的劣化的方法。
机译: 使用快门监测真空沉积膜的厚度的方法和真空沉积装置,其采用一种方法来容易地监测形成在真空腔室内的基质上的厚膜的厚度