法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-17
授权
授权
2017-06-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C19/5684 申请日:20161107
实质审查的生效
2017-06-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 19/5684 申请日:20161107
实质审查的生效
2017-05-10
公开
公开
2017-05-10
公开
公开
机译: 环形谐振器传感器具有不对称的MACH-ZEHNDER干涉仪,通过自我更新的环形波导传感器系统具有环形谐振器传感器,并且微谐振器传感器具有环形谐振器传感器,可通过改善灵敏度来改善传感器的灵敏度
机译: 由硅生产的微技术对称振动陀螺仪传感器
机译: 硅块微机械对称对称简并振动陀螺仪,加速度计和传感器及其使用方法