一种制备ppbv级水分杂质的电子级氯化氢气体的方法

摘要

本发明涉及高纯气体制备领域，具体关于一种制备ppbv级水分杂质的电子级氯化氢气体的方法；本发明方法公开的一种制备ppbv级水分杂质的电子级氯化氢气体的方法，本方法采用一种反应气体来吸收氯化氢中残存中的水，本方法中的反应气体与微量的水反应生产二氧化硅、硼酸和氢气等易于除去的组分。通过该方法不仅可以将氯化氢中的水分由ppmv级降至ppbv级，而且还解决了含水的氯化氢原料不能通过精馏的方式来脱除轻重杂质的问题；本方法提供一种含铒钇增效填料，该种填料能后对反应气体有效吸附，有效决绝了反应气体残留的问题。本发明工艺为连续运行，不仅经济可靠，氯化氢气体质量稳定，水分含量极低。