用ALD涂层保护气体容器的内部

摘要

提供一种用于保护气体容器内部(410)的装置和方法，其中入气和排气歧管包括能够附接到气体容器的端口(411)的端口组件，通过经所述端口组件和所述端口将反应气体顺序地引入到气体容器内部中来将气体容器内部暴露于顺序自饱和表面反应，并且经所述端口和所述端口组件将反应残余物从气体容器泵出。技术效果是：共形的保护性涂层；仅涂覆气体容器的内侧；以及减少清洁周围的室的需要。