法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-24
授权
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2018-09-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/55 申请日:20180412
实质审查的生效
2018-09-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/55 申请日:20180412
实质审查的生效
2018-08-28
公开
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2018-08-28
公开
公开
2018-08-28
公开
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机译: 反射率测量装置,反射率测量方法,膜厚度测量装置和膜厚度测量方法
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