通用非侵入式室阻抗测量系统及相关方法

摘要

本发明涉及通用非侵入式室阻抗测量系统及相关方法。公开了一种用于测量等离子体处理室的阻抗的系统。该系统包括射频信号发生器，所述射频信号发生器被配置为基于频率设定点输出射频信号并提供射频信号的实际频率的指示，其中实际频率可以不同于频率设定点。该系统包括阻抗控制模块，所述阻抗控制模块包括至少一个可变阻抗控制装置。由射频信号发生器输出的射频信号的实际频率与频率设定点之间的差异部分地取决于至少一个可变阻抗控制装置的设置，并且部分地取决于等离子体处理室的阻抗。该系统包括被配置为与等离子体处理室的射频信号供应线连接的连接器。阻抗控制模块连接在射频信号发生器和连接器之间。