一种基于壳聚糖-聚2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸钠共聚物的单晶硅制绒添加剂

摘要

本发明涉及单晶硅片制备领域，公开了一种基于壳聚糖‑聚2‑丙烯酰胺基‑2‑甲基丙磺酸钠共聚物的单晶硅制绒添加剂，其含有壳聚糖‑聚2‑丙烯酰胺基‑2‑甲基丙磺酸钠共聚物，该共聚物绿色环保。用于制绒添加剂中时，可在不影响其脱泡效果的前提下显著提高其在硅片表面的沉积能力，维持优化绒面金字塔结构，使得制绒后所获得的单晶硅片上四面方锥体均匀，硅片反射率低。