连续式热处理炉及使用该连续式热处理炉的陶瓷电子元器件制造方法

摘要

连续式热处理炉(HF1)中设有沿着输送方向(b)对工件进行热处理的热处理区域。工件在热处理区域(H)中被输送的同时进行热处理。用于输送工件的工件输送机构(100)具备：上方具有开口部的箱状的底部框架(1)、多孔质板(2)、多孔质板(2)覆盖底部框架(1)的开口部而形成的气室(3)、以及与气室(3)连通并将透过多孔质板(2)而流出的气体(g)提供给气室(3)内的供气单元(4)。多孔质板(2)设置成上表面(2a)面向工件输送方向向下倾斜，且在上表面(2a)形成有沿着工件(W)的输送方向延伸的槽(2t