公开/公告号CN107431137B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-28
原文格式PDF
申请/专利权人 精工爱普生株式会社;
申请/专利号CN201680017371.8
申请日2016-02-25
分类号
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人张永明
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 10:51:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-28
授权
授权
2017-12-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/50 申请日:20160225
实质审查的生效
2017-12-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 51/50 申请日:20160225
实质审查的生效
2017-12-01
公开
公开
2017-12-01
公开
公开
2017-12-01
公开
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