公开/公告号CN106981450B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-28
原文格式PDF
申请/专利权人 武汉华星光电技术有限公司;
申请/专利号CN201710315359.1
发明设计人 杨元隆;
申请日2017-05-08
分类号
代理机构广州三环专利商标代理有限公司;
代理人郝传鑫
地址 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
入库时间 2022-08-23 10:51:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-28
授权
授权
2017-08-18
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/683 申请日:20170508
实质审查的生效
2017-08-18
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20170508
实质审查的生效
2017-07-25
公开
公开
2017-07-25
公开
公开
2017-07-25
公开
公开
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