检验系统及具有增强检测的技术

摘要

本发明揭示用于检验半导体样本的方法及设备。在检验工具上，针对一或多个半导体样本的不同所关注层基于此类不同所关注层是否具有存在于此类不同所关注层内或附近的吸收剂类型材料选择多个不同波长范围。在所述检验工具上，在所述不同波长范围引导至少一个入射光束朝向所述不同所关注层，且作为响应，针对所述不同所关注层中的每一者获得输出信号或图像。分析来自所述不同所关注层中的每一者的所述输出信号或图像以检测此类不同所关注层中的缺陷。