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功能液排出装置和功能液排出位置调整方法

摘要

本发明提供具有设置了多个排出功能液的喷头的滑架的功能液排出装置,其能够提高功能液的排出位置的精度。功能液排出装置(1)扫描工件(W)并将功能液排出到该工件(W)上进行描绘,其包括:设置有多个对工件(W)排出功能液的喷头(24)并具有使该喷头(24)在θ轴方向上旋转的旋转机构的滑架(23);拍摄工件(W)的摄像部;和对每个喷头(24)控制旋转机构和排出时刻的控制部(150)。控制部(150)使功能液从相对于装置(1)对位并固定后的滑架(23)的喷头(24)排出到工件(W)上,基于该功能液的拍摄结果,控制该喷头的旋转机构和排出时刻,进行该喷头的θ轴方向的对位和扫描方向的功能液的排出位置的调整。

著录项

  • 公开/公告号CN107650520B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-02-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;

    申请/专利号CN201710611980.2

  • 申请日2017-07-25

  • 分类号

  • 代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人龙淳

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 10:50:53

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-02-18

    授权

    授权

  • 2018-03-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):B41J25/24 申请日:20170725

    实质审查的生效

  • 2018-03-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):B41J 25/24 申请日:20170725

    实质审查的生效

  • 2018-02-02

    公开

    公开

  • 2018-02-02

    公开

    公开

  • 2018-02-02

    公开

    公开

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