用于精加工工件的光学有效表面的装置和抛光机

摘要

本发明涉及一种用于精加工工件的光学有效表面的装置(10)，包括工件主轴(14)和两个工具主轴(16、16’)，工件主轴突出进入作业空间(13)中，且待抛光的工件可由工件主轴绕工件旋转轴线(C)旋转地驱动，两个工具主轴与工件主轴相关联且相对地突出进入作业空间中。在每个工具主轴上，抛光工具(18、18’)可绕工具旋转轴线(A、A’)被旋转驱动并被保持为，使得抛光工具可沿工具旋转轴线被轴向地进给(进给轴线Z、Z’)。此外，各工具主轴可一起沿基本垂直于工件旋转轴线延伸的线性轴线(X)相对于工件主轴运动，且可绕基本垂直于工件旋转轴线并基本垂直于线性轴线延伸的不同的枢转调整轴线(B、B’)枢转。如沿线性轴线的方向所见的，工具主轴一个布置在另一个后面。所选布置的结果是：装置非常紧凑且可广泛用于各种抛光过程和抛光策略。