掩模板检测设备、掩模板检测方法以及相应的光源控制方法

摘要

本公开实施例提出了掩模板检测设备、掩模板检测方法和相应的光源控制方法。该设备包括：图像传感器，被配置为捕捉掩模板的图像；多个光源，布置在所述掩模板的与所述图像传感器相反的一侧，其中，所述多个光源中的至少一个光源能够在所述图像传感器捕捉所述掩模板的第一区域的图像时发光，其中，所述至少一个光源包括第一范围内的光源，所述第一范围与所述第一区域相对应且所述图像传感器在光源平面中的正投影的位置落在所述第一范围中。该光源控制方法包括：在图像传感器移动至与待检查掩模板的第一区域相对应的位置处时，开启布置在所述掩模板的与所述图像传感器相反的一侧的多个光源中与所述第一区域相对应的至少一个光源。