基于激光干涉仪的多线机床空间几何误差测量辨识方法

摘要

基于激光干涉仪的多线机床空间几何误差测量辨识方法，首先在机床行程空间内规划测量空间以及测量路径；其次测量X轴的定位误差、两项非滚转角度误差以及两项直线度误差；再测量Y轴的定位误差、两项非滚转角度误差以及Z向直线度误差；在测量Z轴的定位误差以及两项费滚转角度误差；最后在测量条件满足的情况下辨识直线度误差，再对面对角线以及体对角线进行定位误差的测量，结合空间综合误差模型辨识得到滚转角及三项包含垂直度误差的直线度误差，若之前没有辨识直线度误差，则利用结合直线度误差公式辨识得到三项滚转角及六项直线度误差；本发明能够满足空间几何误差的辨识需求，同时具有高测量效率，高测量精度的优点。