半导体制造厂产品加工目录自动跟踪监测系统

摘要

本发明公开一种半导体器件制造厂客户产品加工目录自动跟踪监测系统，系统包括：①以客户为单位的产品制造信息存储装置；②生产线中各个机台的产能监控装置；③客户产品加工目录跟踪监测装置(MTS)；④客户产品生产调度中心；和⑤客户产品出货信息预测和发布装置。