常压炉管实际制程温度的检测方法

摘要

本发明提供一种常压炉管实际制程温度的检测方法，包括：建一标准程序，将待测炉管所需温度设定为标准温度，时间设定为标准时间，设定通入预定量的过饱和纯氧；向待测炉管内放入至少一片晶圆，开始运行该程序，使纯氧与晶圆在待测炉管内发生反应，生成氧化硅；直至该程序结束，量测生成氧化硅的厚度；通过(标准厚度‑生成的氧化硅厚度)/每一度温度对氧化硅厚度的影响参数，计算得到该厚度差所对应的变化温度值；再通过标准温度±变化温度值，计算得到待测炉管的实际制程温度。通过本发明提供的常压炉管实际制程温度的检测方法，解决了通过现有方法检测炉管的实际制程温度时存在耗时长、成本高、中间变量多、稳定性及可靠性较差的问题。