模块化的微等离子体微通道反应器装置、微型反应器模块和臭氧生成装置

摘要

优选的模块化的微等离子体微通道反应器装置，包括相对于电极布置的微通道阵列，用于生成等离子体，且微通道阵列通过电介质与电极隔离。盖子，覆盖微通道阵列的中央部分，同时使微通道阵列的端部部分暴露。气体入口和产物出口布置为允许流入、通过和流出微通道阵列。本发明的反应器模块包括多个模块反应器装置。反应器装置可以通过外壳或框架布置为流体连通。本发明的系统布置多个模块。优选的模块外壳、框架和反应器包括结构特征以形成对准和连接。优选的模块包括风扇以循环原料和反应产物。其它反应器装置提供流动的等离子体激励。