一种电容式环形动态聚焦空耦超声换能器

摘要

本发明涉及一种电容式环形动态聚焦空耦超声换能器，包括金属基底，镀电极聚合物薄膜和相控阵延时激励电路；金属基底上表面设置有粗糙空穴，粗糙空穴覆盖有上表面镀电极的聚合物薄膜；金属基底由多个环形阵元构成，各环形阵元分别连接相控阵延时激励电路的一端，相控阵延时激励电路的另一端与偏置电压电路的一端连接，进而通过连接换能器金属基底电极作为激励源；其中，多个环形阵元形成环形聚焦相控阵，用于发射声波；偏置电压电路用于通过静电作用使聚合物薄膜与金属基底表面贴紧构成空穴谐振腔。本申请提供的电容式环形动态聚焦空耦超声换能器结构简单、加工制造成本低，可以实现尺寸较小阵元和实现动态聚焦，可以实现空耦动态无损检测，提高检测速度和分辨率。