具有自愈合功能的Ta基高温防护涂层的制备方法

摘要

本发明公开了一种具有自愈合功能的Ta基高温防护涂层的制备方法，其步骤为：以99.99%高纯Ta圆形块体材料作为磁控溅射靶材，采用直流磁控溅射方法，在洁净的不锈钢衬底上进行预溅射，制备一层完全覆盖的Ta薄膜，获得具有α相的Ta的中间层；分别选取99.99%高纯Ta圆形块体材料和高纯Ag靶材作为溅射原材料，采用两个直流磁控溅射电源对两种靶材进行单独调控，在具有α相的Ta的中间层上制备Ta‑Ag自愈合高温防护层。本发明能够实现对自愈合层的组织调控，Ta‑Ag复合薄膜组织中，Ag固溶于金属Ta的晶格中形成超固溶体，在高温裂纹产生时，空位和微裂纹可通过沉淀相Ag的形成并填充到空位而达到愈合；且生成的氧化钽能在薄膜表面形成保护层，阻止氧化的进一步的进行。