具有缩小尺寸串列选择线元件的三维半导体元件

摘要

本发明提供了一种具有缩小尺寸串列选择线元件的三维半导体元件，包括相互平行的多层存储器层垂直堆叠于一基板上；一上方选择层位于存储器层上方和一下方选择层位于基板上方，上方选择层和下方选择层其中之一包括多条相互平行的串列选择线；多条位线相互平行地位于基板上方；垂直于位线和存储器层的多条串列，且串列电性连接至对应的位线；多个存储单元分别由位线、串列、以及串列选择线所定义；多个串列选择线元件(SSL devices)分别位于相应的串列末端且对应相应的串列选择线以控制串列，其中串列的截面尺寸大于串列选择线元件的截面尺寸。