一种高灵敏度和高空间分辨率的原位锇同位素测试方法

摘要

本发明公开了一种高灵敏度和高空间分辨率的原位锇同位素测试方法，采用离子计数器，并对离子计数器死时间进行校正，消除其增益因子间的个体差异，获得高的测试结果准确度和精确度，不需要牺牲激光剥蚀测试的空间分辨率；本发明方法在信号强度低得多的情况下可以提供误差接近的测试结果，具有高灵敏度高精确度高空间分辨率的明显优势。