用于激光诱导击穿光谱的紧凑型装置及其方法

摘要

本发明涉及一种用于目标样品的激光诱导击穿原子发射光谱的方法和紧凑型装置，该装置具有：产生激光束的激光器，该激光束被引导至样品；用于操纵激光束以使样品的目标表面处的激光注量最大化的光学装置，激光束在目标表面处从样品产生烧蚀和等离子体发射；具有用于检测来自等离子体发射的等离子体羽的检测器的发射光谱仪。