一种低成本太赫兹频率选择表面加工系统及方法

摘要

本发明涉及一种低成本太赫兹频率选择表面加工系统及方法,包括飞秒激光器、光阑、能量衰减模块、快门、二向色镜、CCD相机、单筒镜头、移动平台、同轴光源、物镜以及计算机；所述飞秒激光器发出的激光依次经所述光阑、能量衰减模块、快门、二向色镜、物镜聚焦在固定于所述移动平台上的样品上得到一聚焦光斑；加工过程中使用所述同轴光源发光经所述物镜聚焦照亮加工位置，其反射光经过所述单筒镜头照射到所述CCD相机上成像并在所述计算机上显示，用以辅助调整聚焦光斑质量并实时观察加工质量；所述能量衰减模块包括λ/2波片以及格兰棱镜，所述样品为铝箔；所述快门用以控制激光通断。本发明工艺简单、成本低廉。