运用声学谐振腔的超声波成像

摘要

本发明技术描述用于通过在传感器堆叠中包含声腔而产生较大输出信号且改进超声波传感器的图像质量的结构和方法。在一些实施例中，超声波传感器单元可在制造期间或在设置阶段期间经调谐以在不同厚度和材料的情况下工作。在一些实施例中，可使用超声波传感器单元中的声腔产生驻波信号以用于捕获置于传感器表面上的对象的超声波图像。在一些实施方案中，所述超声波传感器可包含超声波发射器、压电接收器、薄膜晶体管TFT层和位于所述发射器与所述接收器之间的TFT衬底、一或多个粘着层以及可选覆盖材料和涂层。所述传感器材料和相关联的粘性附接层的厚度、密度和音速可用于实现所要声腔和改进的性能。