一种无熔滴微带天线用YBCO超导膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种无熔滴微带天线用YBCO超导膜的制备方法，属于表面工程技术领域。本发明所述方法是利用飞秒脉冲激光与YBCO靶材作用的非热效应直接将YBCO靶材等离子体化，并喷射到基底上沉积形成YBCO薄膜，从源头上消除了纳秒脉冲激光制备过程中存在的熔滴现象，实现了无熔滴YBCO薄膜的制备；并且通过调整YBCO靶材与基底之间的距离、飞秒脉冲激光在YBCO靶材上的扫描范围、基底旋转速率以及退火工艺相关参数，获得高均匀度、高c轴结晶取向的YBCO超导膜，为微带天线应用提供良好的材料基础。