一种用于在多个基底的表面上物理气相沉积材料层的方法

摘要

本发明涉及一种在多个基底(11)的表面上物理气相沉积材料层的方法，其中：‑该多个基底(11)被安排在根据圆顶旋转轴线(300)旋转的圆顶(12)上；‑该待沉积的材料由于能量束从靶材(13)进行真空蒸发；‑该能量束与在由该靶材的主表面(15)的一部分和边缘(14)的一部分组成的列表中选择的该靶材的光束冲击表面相互作用，并且其中该材料围绕在交点I处与该圆顶(12)相交的主扩散轴线(100)从该靶材扩散到这些基底；并且‑该圆顶旋转轴线(300)与该主扩散轴线(100)之间的角度α是在+5°至+40°或‑5°至‑40°的范围内选择。