棱镜空气层厚度测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种棱镜空气层厚度测量装置及测量方法，该测量装置包括白光光源、整形透镜、光谱接收器和控制器，白光光源、整形透镜、待测TIR棱镜和光谱接收器沿光线传播方向依次设置，光谱接收器与控制器连接；白光光源发出的光线经整形透镜后形成平行光束，平行光束从待测TIR棱镜的入射面入射后，经由待测TIR棱镜的空气层折射，然后从待测TIR棱镜的出射面出射后由光谱接收器接收；光谱接收器将接收到的光谱发送到控制器，控制器用于根据光谱中相邻两个波峰值或波谷值计算获得待测TIR棱镜的空气层厚度。本发明结构优良，测量精度高，而且可以用于测量棱镜任意部位的空气层厚度，操作简单、测量效率高，可广泛应用于光学制造领域中。