一种强韧一体化类富勒烯碳氮多层复合薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种强韧一体化类富勒烯碳氮多层复合薄膜及其制备方法，属于表面工程技术领域。所述薄膜结构依次为金属基体、软硬交替过渡层和类富勒烯碳氮层，其中，所述软硬交替过渡层以一层Ti膜和一层TiN膜为一个周期重复交替，金属基体上为一层Ti膜，类富勒烯碳氮层下为一层TiN膜。所述薄膜具有高硬度、高韧性、高结合力、膜与基体变形能力好以及优异的耐磨损性能，从而提高膜基结合力和基体的耐磨损性能、延长基体的寿命。本发明采用直流脉冲磁控溅射方法制备了具有软硬交替过渡层，降低了内应力、阻止了裂纹扩展，所述方法简单易控。