法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-29
授权
授权
2018-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 26/04 申请日:20180515
实质审查的生效
2018-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 26/04 申请日:20180515
实质审查的生效
2018-10-12
公开
公开
2018-10-12
公开
公开
2018-10-12
公开
公开
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机译: 脉冲光产生装置,脉冲光产生方法,具有脉冲光产生装置的曝光装置以及具有脉冲光产生装置的检查装置
机译: 脉冲光产生装置,脉冲光产生方法,具有脉冲光产生装置的曝光装置和具有脉冲光产生装置的检查装置
机译: 脉冲光产生装置,脉冲光产生方法,具有脉冲光产生装置的曝光装置以及具有脉冲光产生装置的检查装置