一种用圆光栅及自准直仪测量主轴回转误差的装置及方法

摘要

本发明属于精密机械误差领域，公开了一种用圆光栅及自准直仪测量主轴回转误差的装置及方法。该测量装置由安装在主轴上的一套双读数头圆光栅、贴在轴底端的平面镜及一套自制自准直仪组成。当主轴存在径向回转误差时，结合圆光栅测得的径向运动误差，及自准直仪测得的偏摆误差，便可计算出轴上任意一点的径向回转误差，进而分析轴在旋转过程中的运动状态。采用本发明的结构可消除主轴圆度、表面粗糙度及主轴所受负载的变化对测量结果的影响。同时，本装置亦可实现主轴回转角度的高精度定位。