法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-22
授权
授权
2018-07-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C09J183/06 申请日:20161205
实质审查的生效
2018-07-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C09J 183/06 申请日:20161205
实质审查的生效
2018-06-12
公开
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2018-06-12
公开
公开
2018-06-12
公开
公开
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机译: 一种纳米加工方法,其中使用了可固化的抗蚀膜,以及一种包含抗蚀膜的物品
机译: 一种纳米加工方法,其中使用了可固化的抗蚀膜,以及一种包含抗蚀膜的物品
机译: 一种纳米加工方法,其中使用了可固化的抗蚀膜,以及一种包含抗蚀膜的物品