束流自适应校正器件及校正电极板

摘要

本发明公开了一种束流自适应校正器件及校正电极板。该校正器件包括：两个相对设置的校正电极板，该校正电极板包括：绝缘基板；校正电极阵列，分布于绝缘基板之上，包含多个校正电极，多个校正电极之间通过电阻串互相连接在一起；吹风电极阵列，包含多个吹风电极，每个吹风电极分布于校正电极之间，多个吹风电极上可分别加载正负电压，形成空间上排布的正负电场；以及接地电极阵列，包含多个接地电极，每个接地电极分布于吹风电极与校正电极之间。该校正器件能够使出射的带电粒子束保持恒定的出射方向，而不随入射带电粒子束的轨迹变化而发生改变，达到自适应校正补偿，且不受器件几何结构精度、供电系统稳定度及灵敏度等的局限。