一种Al-Sc合金靶材成型方法

摘要

本发明提供了一种Al‑Sc合金靶材成型方法，属于Al‑Sc合金靶材制造领域，其中Al‑Sc合金靶材成型方法，其包括：将Al‑Sc胚料预热至550℃‑600℃；将Al‑Sc胚料在550℃‑600℃的温度下保温45min‑75min；轧制保温后的Al‑Sc胚料，轧制中每道次的变形率控制在10％以下；重复多道次轧制得到Al‑Sc合金靶材。通过发明提供的Al‑Sc合金靶材成型方法，可以降低生产过程中Al‑Sc胚料的开裂事故。实现了Al‑Sc合金靶材的机械化流程化成型，极大地提高了Al‑Sc合金靶材的制造效率，降低了Al‑Sc合金靶材的制造成本。