保形中间层的制作方法

摘要

一种保形中间层的制作方法，包含对单体溶液进行第一聚合工艺以形成经部分处理的树脂溶液，此经部分处理的树脂溶液包含溶剂及硅基的树脂；将经部分处理的树脂溶液旋涂在基板上；及对经部分处理的树脂溶液进行第二聚合工艺以使经部分处理的树脂溶液收缩来形成硅基的保形树脂层。此收缩允许产生较为保形且较均匀的中间层，让中间层的厚度变化可小于15％。