法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-05
授权
授权
2016-10-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/26 申请日:20150213
实质审查的生效
2016-10-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/26 申请日:20150213
实质审查的生效
2016-09-28
公开
公开
2016-09-28
公开
公开
机译: 中子网格,中子网格层叠体,中子网格设备以及中子网格的制造方法
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