卤代硅烷加氢用单块整体热交换器和设备及方法

摘要

发明同逆流热交换器有关，可以使用单片式材料加工，并在高温和腐蚀环境小使用。热交换器设计通过使用环形加热元件，同样产能下更小的换热器体积和运营成本，显著提高了卤代硅烷加氢反应炉性能。