一种基于参考信号移相的激光外差干涉信号处理方法

摘要

本发明公开了一种基于参考信号移相的激光外差干涉信号处理方法。激光外差干涉仪的参考和测量信号经整形电路由正弦信号转变为矩形波信号，两矩形波信号输入至鉴相模块进行整小数测量；在鉴相模块中，参考信号经移相产生180°移相的信号，对参考和测量信号进行计数和对减处理得到整数初值，对参考和测量信号进行填脉冲计数得到小数值，对180°移相的参考信号和测量信号进行计数和对减处理得到整数补偿值，最后利用整数补偿值对由于信号上升沿抖动导致小数相位值在0°附近的不稳定跳变整数值进行补偿，以实现整小数的准确结合。本发明为激光外差干涉仪实现了整小数准确结合的信号处理方法，具有原理简单和易于实现的特点。