针对NO₂气体的复合结构掺杂气敏材料、气敏元件及其制作方法与应用

摘要

本发明涉及一种针对NO₂气体的复合结构掺杂气敏材料、气敏元件及其制作方法与应用。所述复合结构的掺杂气敏材料，由基体和掺杂相构成，所述基体为多孔结构的SnO₂、ZnO或Fe₂O₃球形颗粒，所述基体表面及孔道内分布有掺杂相，所述掺杂相为Pt、Sb₂O₅、CuO或Al₂O₃颗粒。本发明还提供复合结构掺杂气敏材料的制备方法以及气敏元件的制作方法。本发明的复合结构掺杂气敏材料具有针对NO₂气体的高选择性和响应值、工作温度低、响应及回复速度快等特点。本发明的制备方法易操作，设备简单，工艺参数易于控制，成本低。