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用于针对汽相沉积法的层厚度测量的装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于对能借助于汽相沉积法施加到衬底上的层进行层厚度测量的方法和测量系统,其具有:测量头(30),所述测量头设有至少一个振动板(50、52);脱耦段(12),所述脱耦段能够以第一端部(12a)与用于汽相沉积法的真空腔(20)通过引导气体或引导汽体的方式耦合,并且所述脱耦段能够以相对置的第二端部(12b)与所述测量头(30)通过引导气体或引导汽体方式耦合,其中所述脱耦段(12)具有至少一个加热区段(16)或至少一个冷却区段(18)。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-15

    授权

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  • 2019-03-22

    著录事项变更 IPC(主分类):G01B 7/06 变更前: 变更后: 申请日:20151008

    著录事项变更

  • 2019-03-22

    著录事项变更 IPC(主分类):G01B 7/06 变更前: 变更后: 申请日:20151008

    著录事项变更

  • 2017-09-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B7/06 申请日:20151008

    实质审查的生效

  • 2017-09-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B7/06 申请日:20151008

    实质审查的生效

  • 2017-09-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 7/06 申请日:20151008

    实质审查的生效

  • 2017-08-18

    公开

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  • 2017-08-18

    公开

    公开

  • 2017-08-18

    公开

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  • 2017-08-18

    公开

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