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铝或铝/铜或铝/镍空心丝宏观体及其制造系统与方法

摘要

本发明公开了一种铝或铝/铜或铝/镍空心丝宏观体及其制造系统与方法,该宏观体为为铝、铝/铜或铝/镍空心丝相连接形成的三维全通孔结构;该宏观体为全铝结构或,内层为铜或镍空心丝,外层为致密铝层的结构,孔隙率达80‑99%;空心孔被封闭,不与外界相通;本发明还公开了制备该宏观体的系统,包括在多孔聚合物薄膜上溅射金属的子系统、去除聚合物薄膜并原位还原金属、铝的气相沉积子系统以及气体净化子系统;同时还公开了其制备方法;该宏观体具有孔隙率大,强度高,化学稳定性好,制备成本低等优点。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-18

    授权

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  • 2018-09-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/16 申请日:20180316

    实质审查的生效

  • 2018-09-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/16 申请日:20180316

    实质审查的生效

  • 2018-08-24

    公开

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  • 2018-08-24

    公开

    公开

  • 2018-08-24

    公开

    公开

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