法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-01
授权
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2019-02-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/22 申请日:20180918
实质审查的生效
2019-02-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/22 申请日:20180918
实质审查的生效
2019-01-18
公开
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2019-01-18
公开
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2019-01-18
公开
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机译: 基于薄膜纳米微机电系统的电阻应变式压力传感器的制造方法
机译: 与压电电阻应变式压力传感器一起使用的压力和温度补偿算法
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