法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-01
授权
授权
2018-09-11
实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 23/00 申请日:20180418
实质审查的生效
2018-09-11
实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 23/00 申请日:20180418
实质审查的生效
2018-08-17
公开
公开
2018-08-17
公开
公开
2018-08-17
公开
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机译: 氙气和氪氪收集装置,用于在半导体制造工艺中使用用于氙的滤波器单元,用于在半导体制造过程中使用的氙和氪收集装置
机译: 从液体氧气恢复氪和氙气
机译: 从液体氧气恢复氪和氙气