实现超大口径平面镜面形检测的装置

摘要

一种实现超大口径平面镜面形检测的装置涉及光学元件面形检测技术领域,包括：转动机构；移动机构，所述移动机构设置于转动机构上，移动机构带动被检平面镜随着转动机构转动，所述移动机构带动其上的被检平面镜在移动机构表面水平或竖直方向移动；球面反射机构，所述球面反射机构的中心与被检平面镜的中心位于同一平面，球面反射机构距转动机构一定距离、且沿着转动机构圆心转动；激光干涉仪，所述激光干涉仪设置于转动机构的一侧且间隔一定距离，激光干涉仪的出光端中心位置与被测平面镜中心位于同一平面。本发明的有益效果为：满足了检测通用性强，检测精度高，低成本的大口径平面镜全口径高精度面形检测需求。