内衬正偏压锥形管和直管复合的多级磁场电弧离子镀方法

摘要

内衬正偏压锥形管和直管复合的多级磁场电弧离子镀方法，属于材料表面处理技术领域，本发明为解决多级磁场过滤装置中大颗粒及沉积离子对管内壁污染的清理和电弧等离子体传输过程中的损失问题。本发明方法包括：一、将待镀膜的工件置于真空室内的样品台上，接通相关电源，开启外部水冷系统；二、薄膜沉积：待真空室内的真空度小于10^‑4Pa时，通入工作气体并调整气压，开启镀膜电源，同时利用偏压电源吸引出口处的电弧等离子体和进行能量调节，通过内衬正偏压锥形管和直管复合装置自身的阻挡屏蔽和正偏压电场抑制作用及多级磁场的过滤效应来有效消除大颗粒缺陷和保证电弧等离子体的传输效率，设置所需的工艺参数，进行薄膜制备。